业务时代背景
某大规模半导生产的加工加工行业设在长江三角洲型城市,重要生产的加工晶圆和IC芯片。在生产的加工步骤中,晶圆激光切和抛光外理时段引发一大批粉磨液化工废水,日访问量释缩量上涨约50吨。是由于化工废底层的水中含高有机物废气浓度透明桌面物、金属质阳离子及有机物加入剂,间接释放会对工作环境引发造成 环保问题,行业急缺建造非常专业外理配制。
废污水成份及由来
研磨增加光泽液废污水常见种类于晶圆加工处理中的检查是否机械性增加光泽(CMP)加工过程,常见污染问题物包含:
浮悬颗料物
:二氧化的反应硅、氧化的反应铝等研磨抛光颗粒物,粒级在0.1-1μm,溶度到达2000mg/L。
金属件铁离子
:铜、铁、锌等,基抛光处理垫划痕及晶圆面塑料层,铜化合物氨水浓度约50mg/L。
有机的填加剂
:包扩表面能生物剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性产品
:pH值下跌大,大多数在2-11两者之间。
外理施工工艺标准流程
对于废气特征,采取“预操作+生化学+长度操作”结构加工:
调高池
:多样化污水水质发电量,增添强酸强碱转换pH至一般的中性。
沥青混凝土沉淀物中
:添加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),删去悬浮按钮物和橡胶胶体部分,沉降后SS删去率>90%。
崔化脱色
:利用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解有机肥料加上剂,COD我们要除率达60%。
怪物工作
:MBR膜怪物发应器进的一步分解超过有机质物,COD高于100mg/L下述。
铝离子更换
:专用的光敏树脂粘附铜阳离子,喷水铜分量<0.5mg/L。
砂滤+活性氧炭滤过
:狠抓留水清新,达到《废水綜合排放规格规格》(GB8978-1996)4级规格。
既定成效
机系统启用维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。
回收率达40%,剩余时间未达标减排,年降低废污水减排1.7万吨。
治疗直接费用约15元/吨,远高出相关行业最低值。