某半导体设备厂在的生产的过程中采用盐酸系定影液,产生了高质量浓度含NOx废液,日补救量50吨。废液中含NO2-将高达2000mg/L,且富含进样器有机质光刻胶化学物质,补救难易度较少。
2. 污水组成及收入
定影环节废渣(其主要严重污水排放)
晶圆清晰电镀废水
尾气清洗塔排水管
3. 操作加工制作工艺 程序
采取"初级阳极氧化+两极生物学操作"创新发展技术:
嗅氧空气氧化
:能够嗅氧的产生器产生O3,将难光降解有机质物分离为小团伙有机化合物,还将NO2-氧化反应为NO3-。
生物体膜反响器(MBR)
:
第二级:美丽水世界区域下污泥脱水甲醇是碳源,推进反反硝化作用现象
第一级:好氧生物学膜切实骤溶解有机质物
化学工业广度工作
:适用钛基铝层探针,实现电解抛光帮助撤底分解掉残留空气有害物质。
4. 终究结果
NOx总氮调至8mg/L下例
COD相对稳定在30mg/L之内
生产废水工业废水处理率达60%
软件系统使用用电量掌握在3.5kWh/吨水,较传统化工艺设计节能环保20%。