该企业硅片出产的时候中形成四氟化硅（SiF₄）排放物，氨水浓度约150-300mg/m³，排放物中包含有少量的氟化氢（HF）和氮钝化物（NOx）。 清工院艺 ： 用“水释放+碱液采和+化学活化炭粘附”方法： 水释放塔 ：SiF₄碰到水表现转换成氟硅酸（H₂SiF₆）和HF。 碱液采和 ：NaOH稀硫酸结合呈酸性化学物质，添加Na₂SiF₆凝固。 特异性炭吸咐 ：进那步清理稳定度氟化物及NOx。 电脑运行功能 ： 治理后有机废气氟化物总氧浓度<3mg/m³，NOx<50mg/m³，满足《时尚严重污染源综和废气标准化》（GB16297-1996）标准。 四、业内现况与未來发展趋向趋向 现阶段，含氟排放物净化处理高技术已对比熟，但行业内仍面对下述挑战赛： 低的成本提高效率能力所需 ：主要湿法除理运转成本预算较高，干法离心分离剂重复能力待升级优化。 物资化进行 ：如回收利用氟硅酸制取氟盐，达到危化物网络减量化。 智力化调控 ：采用线下监控与自动化自动调节，提升治理 系统化可靠性。 在未来，渐渐生态环保标淮趋严，含氟烟气外理将向 有效率化、低高耗能、影视综合利用 走向进展，女子组合技艺（如等正离子体+催化燃烧物氧化物）或将为钻研热点问题。 五、实验结论 含氟尾气治理需依据尾气基本成分、盐浓硫酸溶度确定恰当的加工生产的方法，湿法消化吸收符合于高盐浓硫酸溶度强酸尾气，干法溶解更适宜低盐浓硫酸溶度复杂的尾气。进行典型示范实例看得见，整合加工生产的方法能有效性升高快速清理成功率，抓实及格排放物。工厂应整合企业情况报告，确定经济能力能力可行性的的方法实施方案，同一注意行业领域新的方法未来发展，以达成优质与经济能力能力前景共盈。