该厂为85英寸晶圆工作线生活设施的超软水平台，定期产生了含硅废水净化处理150吨。废水净化处理中虽无巨资属，但硅含锌量高易积灰，且功率电阻率需达成18MΩ·cm就能够循环。和原有净化处理工学艺無法满足了新实行的《电子设备产业水生态破坏物的环保排放口标准规定》（GB39731-2020）很大的排放口规定值。 污水含量优点 常见水环境有害特性 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（粒度分布0.1-1μm） 特出想要 ：TOC<10μg/L，硼水平<5μg/L 水的硬度功能 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质行态很复杂 正确处理工艺操作流程操作流程 不断创新选用"梯级膜剥离+电去铁离子"组合成生产技术： 微滤预净化处理 ：1μm瓷器膜阻拦大粒子硅，通量长期保持80LMH 化合物相互交换硅胶粘合剂 ：D201大孔光敏树脂取舍性降解硅酸大分子 三级RO系统软件 ：第十二段回收利用率60%，第十二段使用高脱硼膜构件 EDI电去亚铁离子 ：电流大小高密度2A/m²，长期清除残渣亚铁离子 红外光谱除菌 ：254nm太阳光的紫外线的用药量40mJ/cm² 新技术难点 开发管理通用型阻硅剂（有机化学胺类组合物），推迟膜环境破坏生长期3倍 EDI引擎全新流道设定，硅彻底清除率升高至99.8% 一直在线硅深入检测仪（检测标准0.1-500μg/L）满足优质把控好 行驶实效 经最后方检侧： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含氧量从8μg/L调至0.3μg/L 系统软件回收公司率从原40%增加至68% 膜换周期怎么算延伸至5年，年行驶投资成本削减35%