南京某半导体技术集成电路芯片生产加工厂厂，晶圆加工厂阶段中引发含硅、氟的专项 废气，设计制作净化治疗产值1200吨/日。废气材料错综复杂，有nm级硅颗粒状及盐酸，民俗净化治疗策略不易于达到标准。 工业废水成份及来源地 其主要环境挥发性有机物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 源生产工序 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP生物学机械产品制造抛光处理生活污水（40%）、产品冲泡水（15%） 净化处理鑫霖环保程序 科学创新选取"物理沉积+防化膜分离法"系统的路线： 钙盐奠定 ：添加氯化钙取除氟化合物（导出CaF2沉定） 水解酸化池生理反应 ：符合二沉池剂保证固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜虚报冒领微细粒状 反侵入操作系统 ：脱盐率>98%，收旧率75% 蒸馏成果 ：浓水段达成氟化物临“0”排放口 后面功能 氟化物密度：<8mg/L（超过中国6级条件10mg/L） 硅含铁：<5mg/L 水的资源工业废水处理率：70%在冷去塔补充水分 危废处理避免：蒸发掉残余物量较过去加工避免60%