半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术高公测服务设施涉重废污水——MVR强制性要求嵌套循环零排创业项目
业务游戏背景
半导体设备技术品质首测的产品,规模化150立方米/天,是第一例半导体设备技术首测设备配套涉重污水零排的产品。首测缓解的镀镍、镀铜、引线整体布局完成后刷洗会行成含镍含铜污水,工业园区符合要求"无尾水外排",产水所有的中水回用于产线。
水体特征描述与突破点
电镀废水以含镍为之主要(渗透压10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH下跌大(2–12),再有光刻胶杂质的一定量化合物物。测封厂场景紧,规范整理安全设施占地赔偿小;零排寓意着浓水不土石方工程非常多,必需本地服务减压蒸馏心得闭环控制。
除工院艺风格
总布局走"分质回收 → 预办理除杂 → 催化沉淀自己除镍 → 过滤系统 → UF+两极RO → MVR直接循环往复蒸发掉 → 冷却水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,添加氢钝化钠制成Ni(OH)₂乳浊液,加上塑炼钠进一步气体吸附残留镍(塑炼镍Ksp比氢钝化镍更小,可以将镍压到0.1毫克/升以内);
放置有水出经多导电介质筛选程序+门卫筛选程序后进UF,再进考试内容一级RO,产水可以直接回产线擦洗;
RO浓水(含盐+残留巨资属)进MVR二次反复挥发器,二次反复能扛高含盐结渣,挥发器自建上线刷洗,不可以堵;
MVR冷疑水来到中水回用洗手池,化掉残液委外焚烧秸秆或充当危险废物治理,全部工业区无等离子态外排。
关键因素机械缺点有哪些就说明
MVR强制性要求间歇往复不同于普通型降膜化掉,间歇往复空气流速高、热传递面难以结镍盐/碳酸盐垢,比较合适公测这些"蓄水量越来越但水质标准杂"的场所;整体化撬装设定土地征用比传统与现代化掉塘+多效化掉计划书小60%上文;气味侧配建生态学滤池,把自动调节池和污水间的气味抽取后化学降解成CO₂和水,解决公测厂相邻接待室区的气味投诉信。
正确处理感觉与效益分析
留水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,更为重要《电镀工艺破坏物减排规范》表三;任何150立方米/天产水中水回用于测封产线擦拭,代换等量新颖水;危险废弃物(多效蒸发残液+活性污泥)量比传统化"沉淀出的+减排"模式,减约70%。对富士康侧,测封工作节能市场准入卡点暴打通;